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镁铈合金

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镁铈合金

镁和铈两种金属元素组成,具有很高的热稳定性和化学稳定性,因此在制备薄膜时具有很好的性能,溅射一种常用的薄膜制备技术,它通过将靶材置于真空室中,利用高能粒子轰击靶材表面,使其表面原子脱离并沉积在基底上,从而形成薄膜。镁铈合金溅射靶材在这个过程中起到至关重要的作用。

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